旋片式真空泵
单级旋片式真空泵是一种油封式旋转机械真空泵，可以单独使用，也可以作高真空的前级泵，即可以和增压泵、油扩散泵组成机组。
1、单级旋片式真空泵结构
作为单级旋片式真空泵只有一个工作室，它主要由定子、转子、旋片组成。如下图所示。转子偏心地置于定子内。转子梢中装有两块旋片，两旋片之间装有弹簧。依靠弹簧的弹力和泵旋转时的离心力使旋片紧贴于泵壁。
一般将泵腔分成三部分:从进气竹到旋片分隔的空间称吸气(空间，由两旋片同泵壁分附出的空间称为膨胀压缩空间;排气阀到旋片分隔的空间称排气空间。如旋片处于垂充位置时，则把泵腔分成二部分(即吸气空间和排气空间)。但不管旋片处于什么位置，它始终把进气门和排气口分开。排气阀浸在油里的目的是防止大气返流进入泵内。为了防止电源突然停电真空泵油返流入真空容器内，在进气口管道上安装一个电磁阀，一旦停电，电磁阀随把通道堵死，开泵抽气时，电磁阀吸上，通道打开。
2、单级旋片式真空泵工作原理
当转子在定子内旋转时，吸气空间的容积逐渐增大而把被抽空问中气沐吸入吸气空间。同时排气空间的容积逐渐缩小，将前一周期已吸入的气体压缩，当气体压力足够高，即大于油的重力和阀片弹力之和时，被抽气体顶开排气阀，穿过油层由排气管排出。
单级旋片式真空泵的抽气过程
旋片式真空泵在工作过程中的几个典型位置:
(1)旋片1处于垂直位置，并与转子和定子问的固定切点4重合，吸气过程尚未开始。
(2)旋片1从A点转过一定角度，吸气空间逐渐增大气体便从被抽空问通过进气口进入吸气空间。
(3)旋片1到达水平位置，旋片2正好将进气口封死，气体不再进入吸气空间，吸气量达到最大。
(4)旋片继续旋转，被封闭在旋片1、2之间的气体受到压缩，压强不断升高，当压强超过一定值时，气体便推开排气阀由排气管排出。
(5)排气结束，恢复到第一个过程里，只是I、2两个旋片交换了一个位置。
以后的排气就按照上面的过程重复进行。这样每个旋片起了二个作用:使泵腔从进气口吸入气体，压缩已吸进来的气体，使其通讨排气阀排出去。当转子旋转一周时，旋片1,2各吸入一次气体和排出一次气体，因此转子旋转一周时，完成了两次吸气过程和两次排气过程。
单级泵的真空度相比双级旋片式真空泵要差一些，它的残余气体分压强为5×10-1~1Pa，而总压强(残余气体与残余蒸汽分压强之和)有5Pa。